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光刻机和蚀刻机到底有什么区别

信息来源:本站 | 发布日期: 2023-09-19 11:07:52 | 浏览量:46139

摘要:

光刻机和蚀刻机在芯片制造过程中扮演着重要的角色,但它们的工作原理和功能有一定的区别。光刻机的主要功能是将芯片电路图案铺上光刻胶,然后通过曝光、显影、退光等步骤,将电路图案转移到芯片表面。简而言之,光刻机就是将设计好的图案印制到芯片上。而蚀刻机则是一种通…

  光刻机和蚀刻机在芯片制造过程中扮演着重要的角色,但它们的工作原理和功能有一定的区别。

  光刻机的主要功能是将芯片电路图案铺上光刻胶,然后通过曝光、显影、退光等步骤,将电路图案转移到芯片表面。简而言之,光刻机就是将设计好的图案印制到芯片上。

  而蚀刻机则是一种通过化学反应将芯片表面进行蚀刻的设备。它将蚀刻剂(如HF、HCI、HNO3、H2SO4等)涂在芯片表面,然后进行电化学刻蚀,将芯片表面的材料进行去除。在这个过程中,没有图案的部分会被保留下来,而有图案的部分则会被蚀刻掉。

  如需更多信息,可以到知识分享平台查询或请教专业人士。

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